激光尺
激光尺能夠?qū)崿F(xiàn)分辨率高、周期誤差低(SDE)的直線位置測(cè)量。
激光尺兼具位移干涉儀所具備的測(cè)量和定位功能，與傳統(tǒng)的鋼帶光柵或玻璃光柵一樣易于安裝和使用。
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